物鏡是顯微鏡最重要的光學(xué)部件,利用光線使被檢物體第一次成象,因而直接關(guān)系和影響成象的質(zhì)量和各項(xiàng)光學(xué)技術(shù)參數(shù),是衡量一臺顯微鏡質(zhì)量的首要標(biāo)準(zhǔn)。 [
物鏡的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,制作精密,通常都由透鏡組組合而成,各鏡片間彼此相隔一定的距離,以減少相差。每組透鏡都由不同材料、不同參數(shù)的一或數(shù)塊透鏡膠合而成。物鏡有許多具體的要求,如合軸,齊焦。
現(xiàn)代顯微物鏡已達(dá)到高度完善,其
數(shù)值孔徑已接近極限,
視場中心的分辨率與理論值之區(qū)別已微乎其微。但繼續(xù)增大顯微物鏡視場與提高視場邊緣成象質(zhì)量的可能性仍然存在,這種研究工作,至今仍在進(jìn)行。
齊焦即是在鏡檢時,當(dāng)用某一倍率的物鏡觀察
圖象清晰后,在轉(zhuǎn)換另一倍率的物鏡時,其
成象亦應(yīng)基本清晰,而且象的中心偏離也應(yīng)該在一定的范圍內(nèi),也就是
合軸程度。齊焦性能的優(yōu)劣和合軸程度的高低是顯微鏡質(zhì)量的一個重要標(biāo)志,它是與物鏡的本身質(zhì)量和物鏡轉(zhuǎn)換器的精度有關(guān)。
顯微物鏡與目鏡在參與成象這點(diǎn)上是有區(qū)別的.物鏡是顯微鏡最復(fù)雜和最重要的部分,在寬光束中工作(孔徑大),但這些光束與光軸的傾角較?。ㄒ晥鲂。?;目鏡在窄光束中工作,但其傾角大(視場大).當(dāng)計算物鏡與目鏡,在消除象差上有很大差別。
顯微鏡物鏡
顯微物鏡是一消
球差系統(tǒng),這意味著:就軸上的一對共軛點(diǎn)而言,消除了球差并且實(shí)現(xiàn)了正弦條件時,每一物鏡僅有兩個這種消球差點(diǎn).因此,物體與象的計算位置的任何改變均導(dǎo)致象差變大。裝在鏡筒下端的旋轉(zhuǎn)器上,一般有3-4個物鏡,其中最短的刻有“10×”符號的為低倍鏡,較長的刻有“40×”符號的為高倍鏡,最長的刻有“100×”符號的為油鏡,此外,在高倍鏡和油鏡上還常加有一圈不同顏色的線,以示區(qū)別。
物鏡類型
⑴按顯微鏡鏡筒長度(以mm計):
透射光用160鏡筒,帶0.17mm厚或更厚的
蓋玻片;
反射光用190鏡筒,不帶蓋玻片;透射光與反射光用鏡筒,筒長無限大。
⑵按浸法特征:非浸式(干式)、浸式(油浸、水浸、甘油浸及其它浸法)。
⑶按光學(xué)裝置:透射式、反射式以及折反射式。
⑷按
數(shù)值孔徑和放大倍數(shù):低倍(NA≤0.2與β≤10X),中倍(NA≤0.65與β≤40X),高倍(NA>0.65與β>40X)。
⑸按校正象差的情況不同,通常分為
消色差物鏡,半復(fù)消色差物鏡,復(fù)消色差物鏡,平視場消色差物鏡,平視場復(fù)消色差物鏡和
單色物鏡。
⒈消色差物鏡 (Achromatic) 是較常見的一種物鏡(表1-1),由若干組曲面半徑不同的一正一負(fù)膠合透鏡組成,只能矯正
光譜線中紅光和藍(lán)光的軸向
色差。同時校正了軸上點(diǎn)
球差和近軸點(diǎn)
慧差,這種物鏡不能消除二級光譜,只校正黃、綠波區(qū)的球差、色差,未消除剩余色差和其他波區(qū)的球差、色差,并且
像場彎曲仍很大,也就是說,只能得到視場中間范圍清晰的像。使用時宜以黃綠光作照明光源,或在
光程中插入黃綠色
濾光片。此類物鏡結(jié)構(gòu)簡單,經(jīng)濟(jì)實(shí)用,常和福根
目鏡、校正目鏡配合使用,被廣泛地應(yīng)用在中、低倍顯微鏡上。在黑白照相時,可采用綠色濾色片減少殘余的軸向色差,獲得對比度好的相片。
⒉復(fù)消色差物鏡(Apochromatic) 由多組特殊光學(xué)玻璃和熒石制成的高級透鏡組組合而成。將紅、藍(lán)、
黃光校正了軸向色差,消除了二級光譜,因此像質(zhì)很好,但鏡片多、加工和裝校都較困難。色差的校正在
可見光的全部波區(qū)。若加入藍(lán)色或黃色濾光片效果更佳。它是顯微鏡中最優(yōu)良的物鏡,對
球面差、色差都有較好的校正,適用于高倍放大。但仍需與補(bǔ)償目鏡配合使用,以消除殘余色差。
⒊平面消色差物鏡(Plana chromatic) 采用多鏡片組合的復(fù)雜光學(xué)結(jié)構(gòu),較好地校正
像散和
像場彎曲,使整個
視場都能顯示清晰,適用于顯微攝影。該物鏡對
球差和色差的校正仍限于黃綠波區(qū),且還存在剩余色差。
⒋平面復(fù)消色差物鏡(PF,Planapochromat) 除進(jìn)一步作像場彎曲校正外,其它
像差校正程度均與復(fù)消色差物鏡相同,使映像清晰、平坦;但結(jié)構(gòu)復(fù)雜,制造困難。
⒌
半復(fù)消色差物鏡(Halfapochromatic) 部分鏡片用熒石制成,故又稱熒石物鏡,性能比消色差物鏡好,價格比復(fù)消色差物鏡便宜。校正像差程度介于消色差與復(fù)消色差兩種物鏡之間,但其它光學(xué)性質(zhì)都與后者相近;價格低廉,最好與補(bǔ)償目鏡配合使用。
6.特種物鏡 所謂特種物鏡就是在上述物鏡的基礎(chǔ)上,專門為達(dá)到某些效果而設(shè)計。根據(jù)用途主要有以下幾種:
1)相差物鏡(phase contrast objective)這種物鏡是相差顯微鏡的專用鏡頭(當(dāng)然也可常規(guī)使用)。特點(diǎn)是在物鏡的后焦點(diǎn)平面處裝有一塊相板,已達(dá)到推遲光波的目的。
2)帶校正環(huán)物鏡(correction collar objective)在物鏡中裝有環(huán)狀的調(diào)節(jié)環(huán)。當(dāng)轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)環(huán)時,可調(diào)節(jié)物鏡內(nèi)的透鏡組(一般為第二和第三組透鏡)之間的距離,從而校正由蓋玻片厚度不標(biāo)準(zhǔn)所引起的覆蓋差。
3)帶虹彩光闌物鏡(iris diaphragm objective)在物鏡鏡筒內(nèi)的上部裝有虹彩光闌,外方也有可旋轉(zhuǎn)的調(diào)節(jié)環(huán),轉(zhuǎn)動時可調(diào)節(jié)光闌孔徑的大小。這種結(jié)構(gòu)是最高級的油浸物鏡。
4)無應(yīng)變物鏡(strain-free objective)這種物鏡在透鏡組的裝配中克服了應(yīng)力的存在,是專作透射式偏光鏡檢用的物鏡,能達(dá)到更佳的偏光鏡檢效果。
5)無熒光物鏡(non-fluorescing objective)是專用于落射式熒光顯微鏡上的物鏡。這種物鏡即使受到很強(qiáng)的激勵光源時也不發(fā)出熒光。
6)無蓋片物鏡(no cover objective) 有些被檢物體,尤其是涂抹制片等,上面不能加用蓋玻片,這樣鏡檢時應(yīng)使用無蓋片物鏡,否則圖像質(zhì)量將明顯下降,在高倍鏡檢時更為顯著。
物鏡參數(shù)
①、放大倍數(shù)是指眼睛看到像的大小與對應(yīng)標(biāo)本大小的比值。它指的是長度的比值而不是面積的比值。
例:放大倍數(shù)為100×,指的是長度是1μm的標(biāo)本,放大后像的長度是100μm,要是以面積計算,則放大了10,000倍。顯微鏡的總放大倍數(shù)等于物鏡和目鏡放大倍數(shù)的乘積。
②、數(shù)值孔徑也叫
鏡口率,簡寫NA 或A,是物鏡和聚光器的主要參數(shù),與顯微鏡的分辨力成正比。干燥物鏡的數(shù)值孔徑為0.05-0.95,
油浸物鏡(香柏油)的數(shù)值孔徑為1.25。
③、
工作距離是指當(dāng)所觀察的標(biāo)本最清楚時物鏡的前端透鏡下面到標(biāo)本的蓋玻片上面的距離。物鏡的工作距離與物鏡的焦距有關(guān),物鏡的焦距越長,放大倍數(shù)越低,其工作距離越長。例:10倍物鏡上標(biāo)有10/0.25和160/0.17,其中10為物鏡的放大倍數(shù);0.25為數(shù)值孔徑;160為鏡筒長度(單位mm);0.17為蓋玻片的標(biāo)準(zhǔn)厚度(單位 mm)。10倍物鏡有效工作距離為6.5mm,40倍物鏡有效工作距離為0.48mm。
物鏡性質(zhì)
物鏡放大倍數(shù)
物鏡的放大倍數(shù),是指物鏡在線長度上放大實(shí)物倍數(shù)的能力指標(biāo)。有兩種表示方法,一種是直接在物鏡上刻度出如8×、10×、45×等;另一種則是在物鏡上刻度出該物鏡的
焦距f,焦距越短,放大倍數(shù)越高。前一種物鏡放大倍數(shù)公式為M物=L/f物,L是光學(xué)鏡筒長度,L值在設(shè)計時是很準(zhǔn)確的,但實(shí)際應(yīng)用時,因不好量度,常用機(jī)械鏡筒長度。機(jī)械鏡筒長度是指從顯微鏡目鏡接口處之
直線距離。每一物鏡上都用數(shù)字標(biāo)明了機(jī)械鏡筒長度。
物鏡鏡筒長度
鏡筒長度是指物鏡底面到目鏡頂面的距離。由于物鏡的像差是依據(jù)一定位置的映像來校正的,因此物鏡一定要在規(guī)定的機(jī)械鏡筒長度上使用,一般顯微鏡的機(jī)械鏡筒長度多為160mm、170mm、
[2] 190mm。金相顯微鏡在攝影時,由于放大倍數(shù)不同,映像投射距離變化很大,因此,優(yōu)良的物鏡的像差是按任意鏡筒長度校正的,即在無限長范圍內(nèi),物鏡像差均已校正。
物鏡數(shù)值孔徑
數(shù)值孔徑表征物鏡的聚光能力,是物鏡的重要性質(zhì)之一,通常以“NA”表示。物鏡的數(shù)值孔徑大小決定了物鏡的分辨能力(鑒別)及有效放大倍數(shù)。根據(jù)理論推導(dǎo)得出:NA=nsinθ增大物鏡的數(shù)值孔徑有兩個途徑:
⑴ 增大透鏡的直徑或減小物鏡的焦距即設(shè)計短焦距的物鏡,以增大孔徑
半角θ。但此法會導(dǎo)致
像差增加及制造困難,一般不采用。實(shí)際上sinθ的最大值只能達(dá)到0.95。
⑵ 增大物鏡與觀察物之間的折射率n。干系物鏡是以空氣為介質(zhì)的,折射率n=1,一般用于低倍物鏡。油系物鏡常以松柏油(n=1.515,NA=1.4)、α-壹代溴萘(n=1.658,NA=1.60)為介質(zhì),用于高倍物鏡。油物鏡的數(shù)值孔徑此時可達(dá)1.30~1.40,其放大倍數(shù)可達(dá)100~140倍。但干系物鏡不能隨便用油作為介質(zhì)。
物鏡的最小數(shù)值孔徑系列、參數(shù)、色圈及標(biāo)志
在物鏡外殼上刻有不同的標(biāo)記浸液記號、物鏡類別、
放大率、數(shù)值孔徑、機(jī)械筒長度、蓋玻片厚度。油:表示浸液為松柏油;100×/1.25:表示物鏡放大率為100倍,數(shù)值孔徑1.25;160/0:表示機(jī)械鏡筒長度為160mm;“0”表示無蓋玻片。有些物鏡刻有160/-:表示機(jī)械鏡筒長度為160mm?!?”表示可有可無蓋玻片。在物鏡上刻有色圈表示物鏡的放大率。高倍物鏡通常都為油浸系,油鏡頭用“油”(或OiI,?L,HL)或外殼涂一黑圈來表示。
顯微鏡的鑒別能力主要決定于物鏡。物鏡的鑒別能力可分為平面和垂直鑒別能力。物鏡(objective lens) 物鏡是決定光學(xué)顯微鏡基本性能及功能的最重要的光學(xué)單元。因此,為了滿足各種需求和應(yīng)用,我們研制出了有著最佳光學(xué)性能和功能(這對光學(xué)顯微鏡而言也是最重要的性能和功能)的物鏡,推出了能滿足不同使用目的多種物鏡產(chǎn)品?;旧衔镧R是按照用途、觀察方法、倍率、性能(像差校正)等進(jìn)行分類。其中,按照
像差校正來分類的是顯微鏡物鏡特有的
分類方法。
物鏡分類
按照用途分類
光學(xué)顯微鏡的用途大致分為“生物用”和“工業(yè)用”兩大類。物鏡也可以按照這兩種用途,劃分為“生物用”物鏡和“工業(yè)用”物鏡。在生物用途中,一般是將生物標(biāo)本放置在
載玻片上,并從上面用
蓋玻片遮蓋固定。由于生物用物鏡需要透過蓋玻片觀察樣本,所以采用了考慮到蓋玻片的厚度(一般為0.17 mm)的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計。而在工業(yè)用途中,一般是在金屬礦物切片、半導(dǎo)體
晶圓和電子零部件等標(biāo)本沒有被遮蓋的狀態(tài)下進(jìn)行觀察的。所以,工業(yè)用物鏡采用了物鏡前端和標(biāo)本之間沒有蓋玻片狀態(tài)的最佳光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計。
按照觀察方法分類
根據(jù)光學(xué)顯微鏡的用途開發(fā)出了各種觀察方法,也開發(fā)出了對應(yīng)這些觀察方法的專用物鏡。可以按照觀察方法劃分物鏡。例如,“反射暗視場用物鏡(內(nèi)部透鏡的周圍有環(huán)狀照明光路)”、“
微分干涉用物鏡(減少透鏡內(nèi)部失真,優(yōu)化了與微分干涉棱鏡的光學(xué)特性組合)”、“熒光用物鏡(改善了近紫外線領(lǐng)域的
透射率)”、“
偏振光用物鏡(極大程度減少了透鏡的內(nèi)部失真)”和“相位差用物鏡(內(nèi)置相位板)”等。
按照倍率分類
光學(xué)顯微鏡是在稱為物鏡轉(zhuǎn)換器的裝置上安裝了多個物鏡。這樣,只要轉(zhuǎn)動物鏡轉(zhuǎn)換器就可以把低倍率切換到高倍率,輕松完成倍率變換。所以一般是在物鏡轉(zhuǎn)換器上安裝一組不同倍率的物鏡。為此,物鏡的產(chǎn)品陣容由低倍率(5×、10×)、中倍率(20×、50×)和高倍率(100×)物鏡構(gòu)成。其中,特別是在高倍率產(chǎn)品中,為了得到高清晰成像,我們推出了在物鏡的前端與標(biāo)本之間填充合成油、水等折射率高的專用液體的液浸物鏡。另外,還推出了用于特殊用途的超低倍率(1.25×、2.5×)和超高倍率(150×)物鏡等。
像差校正和物鏡的分類
按照色差校正分類(等級)根據(jù)軸色差(縱向色差)校正的程度,可以分為消色差、半消色差(Fluorite)、復(fù)消色差3個等級。產(chǎn)品陣容也按照普通級別到高級別排序,價格不同。
在軸色差校正中,校正了C線(紅:656.3 nm)和F線(藍(lán):486.1 nm)2種顏色的物鏡稱為消色差透鏡(Achromat)。紅藍(lán)2色以外的光線(一般以紫色的g線為對象:435.8 nm)在離開
焦平面的面上聚焦,這個g線稱為2級光譜。色差校正范圍達(dá)到這個2級光譜的物鏡稱為
復(fù)消色差透鏡(Apochromat)。也就是說,復(fù)消色差透鏡是對3色(C線、F線、g線)進(jìn)行軸色差校正的物鏡。下圖以
波像差表示了消色差透鏡和復(fù)消色差透鏡在色差校正上的不同。由此圖可以看出,與
消色差透鏡相比,復(fù)消色差透鏡可以在更廣的波長范圍內(nèi)校正色差。
色差校正的比較(消色差透鏡和復(fù)消色差透鏡)
另一方面,該2級光譜(g線)的色差校正程度,被設(shè)定在消色差透鏡和
復(fù)消色差透鏡的中間的物鏡,稱為半消色差透鏡(或稱Fluorite)。
顯微鏡物鏡的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計中,一般來說N.A.越大,或者倍率越大,2級光譜的軸色差校正就越難。不僅如此,由于軸色差以外的各種
像差以及
正弦條件都必須校正,所以難度更大。為此,越是高倍率的復(fù)消色差物鏡,就需要越多的像差校正透鏡,甚至有使用了超過15枚
透鏡的物鏡。為了精確的校正2級光譜,有效的做法是將2級光譜
色散較少的“異常色散玻璃”用于透鏡組中效果較強(qiáng)的凸透鏡。該異常色散玻璃的代表是螢石(CaF2),雖然螢石的加工比較困難,但是長久以來一直被用于
復(fù)消色差透鏡。新開發(fā)出的異常色散性與
螢石非常接近的光學(xué)玻璃,加工性也得到了改善,逐漸取代螢石成為主流。
按照場曲校正分類在顯微鏡的使用中,照片拍攝和電視攝像機(jī)的拍攝越來越普通,對鮮明的全
視場影像的要求也越來越多。因此,能精確校正場曲的平面(Plan)物鏡逐漸成為主流。在校正場曲時,需要將光學(xué)系統(tǒng)的
匹茲堡(Petzval)曲率設(shè)計為0,而倍率越高的物鏡其校正越難(難以與其他各種像差校正并存)。被校正過的物鏡上,前端的鏡片組為較強(qiáng)凹下形狀,而后端的鏡片組的構(gòu)成也為強(qiáng)凹下形狀,這是透鏡類型上的特征。
物鏡作用
物鏡的作用是將標(biāo)本作第一次放大,它是決定顯微鏡性能的最重要的部件——分辨力的高低。
分辨力也叫分辨率或分辨本領(lǐng)。分辨力的大小是用分辨距離(所能分辨開的兩個物點(diǎn)間的最小距離)的數(shù)值來表示的。在
明視距離(25cm)之處,正常人眼所能看清相距0.073mm的兩個物點(diǎn),這個0.073mm的數(shù)值,即為正常人眼的分辨距離。顯微鏡的分辨距離越小,即表示它的分辨力越高,也就是表示它的性能越好。
顯微鏡的分辨力的大小由物鏡的分辨力來決定的,而物鏡的分辨力又是由它的數(shù)值孔徑和照明光線的波長決定的。
當(dāng)用普通的中央照明法(使光線均勻地透過標(biāo)本的
明視照明法)時,顯微鏡的分辨距離為d=0.61λ/NA式中d——物鏡的分辨距離,單位 nm。λ——照明光線波長,單位 nm。NA ——物鏡的數(shù)值孔徑,例如
油浸物鏡的數(shù)值孔徑為1.25,可見光波長范圍為400—700nm ,取其平均波長550 nm,則d=270 nm,約等于照明光線波長一半。一般地,用可見光照明的顯微鏡分辨力的極限是0.2μm。